江蘇省薄膜材料重點實驗室

江蘇省薄膜材料重點實驗室 ^[1]  依託：蘇州大學。

實驗室的主要研究方向是：

（1）微電子、光電子和磁電子薄膜材料的製備、結構與性能。如多孔硅基低介電常數薄膜；高介電常數鐵電薄膜；半金屬巨磁電阻薄膜；硅基和氧化鋅發光薄膜；鐵電、磁多層薄膜等。

（2）用於薄膜材料沉積的新型等離子體源。如微波ECR等離子體沉積系統；雙頻RF-CCP/ICP沉積系統；並列式天線大面積等離子體源等。

（3）薄膜沉積和刻蝕過程和機理研究。如放電等離子體中的各種反應基團的行為和分佈；薄膜沉積，團蔟、納米顆粒的形成機理；器壁對基團和材料合成的效應等。

經過近10年的建設和運行，實驗室擁有了多種薄膜材料製備設備，如微波ECR等離子體化學氣相沉積系統、雙頻RF-CCP/ICP化學氣相沉積系統、多靶磁控濺射系統、脈衝激光沉積系統、雙離子束濺射系統等。實驗室還擁有多種薄膜材料的結構與性能的檢測儀器，如大功率XRD、原子力顯微鏡、紅外吸收譜儀、熒光光譜儀、振動樣品磁強計、阻抗測試分析儀、表面輪廓儀、磁電阻低温測試台等。實驗室成立以來，先後承擔了國家863計劃、國家攀登計劃、國家自然科學基金以及江蘇省各類基金近百項，獲得省部級以上的獎勵7項。2010年至2015年來平均每年發表SCI、EI收錄論文約50篇。在金屬顆粒複合材料的非線性光學和電磁性質、微波ECR等離子體沉積薄膜材料等方面均開展了有顯著特色的工作 。實驗室招收和培養凝聚態物理、材料物理與化學、等離子體物理專業的博士或碩士研究生。

實驗室目前有固定人員21人，其中教授12人，具有博士學位的年輕教師16人。已形成了一支有高水平學術帶頭人的、以年輕博士為主體的、結構合理、團結協作、凝聚力強的隊伍。