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https://baike.baidu.hk/item/晶格失配/9094012
晶格失配
鎖定
晶格失配,是指由於襯底和
外延層
的
晶格常數
不同而產生的失配現象。
中文名
晶格失配
類 別
半導體術語
術語介紹
當在某種單晶
襯底
上生長另一種物質的單晶層時,由於這兩種物質的晶格常數不同,會在
生長界面
附近產生應力,進而產生
晶體缺陷
——
失配位錯
.通常把這種由於襯底和外延層的晶格常數不同而產生的失配現象叫晶格失配
晶格失配度
(以下簡稱失配度 ), 即晶格
錯配度
,是描述襯底和外延膜
晶格匹配
的參量 。晶格失配和
熱膨脹係數
失配不同程度地影響
晶體
的
外延生長
,在外延層中產生大量缺陷, 甚至無法生長單晶 ,影響器件的性能和壽命。
[1]
參考資料
1.
何菊生, 張萌, 肖祁陵. 半導體外延層晶格失配度的計算[J]. 南昌大學學報(理科版), 2006, 30(1):63-67.
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最近更新:
一世长安品清茗
(2023-08-02)
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