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晶格失配度

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晶格失配度，描述襯底與外延膜晶格匹配程度的參量。晶格失配影響晶體的外延生長，會在外延層中產生大量缺陷，甚至無法生長單晶，影響器件的性能和壽命。 [1] 
中文名
晶格失配度
定    義
描述襯底與外延膜晶格匹配程度的參量
參考資料