微納製造技術

微納製造包括微製造和納製造兩個方面。

(1)微製造 有兩種不同的微製造工藝方式，一種是基於半導體制造工藝的光刻技術、LIGA技術、鍵合技術、封裝技術等，這些工藝技術方法較為成熟，但普遍存在加工材料單一、加工設備昂貴等問題，且只能加工結構簡單的二維或準三維微機械零件，無法進行復雜的三維微機械零件的加工;另一種是機械微加工，是指採用機械加工、特種加工及其他成形技術等傳統加工技術形成的微加工技術，可進行三維複雜曲面零件的加工，加工材料不受限制，包括微細磨削、微細車削、微細銑削、微細鑽削、微衝壓、微成形等。

(2)納製造 納製造是指具有特定功能的納米尺度的結構、器件和系統的製造技術，主要分為兩種方向，一種以微製造為基礎向其製造精度的極限逼近，達到納米加工的能力，另一種採用新物理效應對納米量級進行操控制造，納米制造包括納米壓印技術、刻劃技術、原子操縱技術等。