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LIGA技術
鎖定
LIGA技術是一種利用同步輻射X射線製造三維微器件的先進製造技術,它包括塗光刻膠、X 光曝光、顯影、微電鑄、去除光刻膠、去除隔離層以及製造微塑鑄模具、微塑鑄和第二次微電鑄等多道工序,用此技術可以進行微器件的大批量生產。
- 中文名
- LIGA技術
- 釋 義
- 一種利用同步輻射X射線製造三維微器件的先進製造技術
- 分 類
- 塗光刻膠、X 光曝光、顯影、微電鑄、去除光刻膠、去除隔離層
- 特 點
- 取材廣泛、可製作任意複雜圖形結構、可重複複製
與傳統微細加工方法相比,用LIGA技術進行超微細加工有如下特點
1.可製造有較大深寬比的微結構。
2.取材廣泛,可以是金屬、陶瓷、聚合物、玻璃等。
3.可製作任意複雜圖形結構,精度高。
4.可重複複製,符合工業上大批量生產要求,成本低。
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