微納檢測技術

《微納檢測技術》可作為信息領域研究生、本科生及大中專學生的教材使用，也可作為微納米研究領域科技工作者的參考書籍使用。《微納檢測技術》共分8章，分別為微納檢測技術基礎、光學干涉測試技術、微納形貌檢測技術、掃描探針顯微鏡、掃描電子顯微鏡、微納座標測量技術、微視覺測試技術和全息干涉技術。

第1章 微納檢測技術基礎

1.1 微納米量級檢測技術特點

1.2 常用檢測技術

1.3 微納尺度的溯源與基準傳遞

第2章 光學干涉測試技術

2.1 位移干涉檢測技術

2.2 相移干涉檢測技術

2.3 X射線干涉技術

2.4 白光干涉檢測技術

第3章 微納形貌檢測技術

3.1 接觸式輪廓儀

3.2 非接觸式輪廓儀——光學式輪廓儀

第4章 掃描探針顯微鏡

4.1 掃描隧道顯微鏡

4.2 原子力顯微鏡

4.3 掃描近場光學顯微鏡

第5章 掃描電子顯微鏡

5.1 掃描電子顯微鏡

5.2 透射電子顯微鏡

5.3 環境掃描電子顯微鏡

第6章 微納座標測量技術

6.1 微納座標測量技術基礎

6.2 微納座標測量儀器

6.3 微納座標測量儀器的研究進展

6.4 微納座標測量儀器傳感測頭的研究進展

第7章 微視覺測試技術

7.1 微視覺測試技術基礎

7.2 微結構平面尺寸的視覺測試

7.3 微結構平面運動參數的視覺測試

第8章 全息干涉技術

8.1 全息干涉技術的發展歷史

8.2 全息圖的分類

8.3 傳統全息技術的基本原理

8.4 數字全息技術

8.5 商業化儀器介紹

參考文獻