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微光機電系統

（2005年科學出版社出版的圖書）

鎖定
《微光機電系統》是2005年科學出版社出版的圖書，作者是(日)澤田廉士，(日)羽根一博，(日)日暮榮治。
中文名
微光機電系統
作    者
(日)澤田廉士，(日)羽根一博，(日)日暮榮治
出版社
科學出版社
ISBN
7030133137

目錄

  1. 1 內容簡介
  2. 2 圖書目錄

微光機電系統內容簡介

本書第一篇介紹微光機電系統在各領域中的應用，即開關、反射鏡陣列、顯示器等；第二篇介紹微光機電系統中應用的光學原理，即光的反射與折射、干涉、衍射等；第三篇介紹材料、製造、封裝等。 [1] 

微光機電系統圖書目錄

  • 第1篇 微光機電系統
  • 第2篇 微光機電系統光學
  • 第3篇 材料，製造，封裝 [1] 
參考資料