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微光機電系統

（2006年機械工業出版社出版的圖書）

鎖定

《微光機電系統》是2006年8月機械工業出版社出版的圖書，作者是張文棟，熊繼軍。^[1]

書名: 微光機電系統
作者: 張文棟
熊繼軍
出版社: 機械工業出版社

出版時間: 2006年8月1日
頁數: 310 頁
定價: 28 元
裝幀: 平裝
ISBN: 9787111192664

微光機電系統內容簡介

微光機電系統

本書介紹了微光機電系統的國內外發展狀況，微器件的結構設計與仿真，常用的微製造技術，如表面工藝、體硅工藝和LIGA工藝，封裝技術等。本書的重點是介紹各種MOEMS器件，包括微力學器件、RF微器微光學器件、微流體器件以及微温度傳感器和微磁場傳感器等。介紹微器件時，本書從各器件的工作原理、工藝步驟、性能指標等入手，意在使讀者更好地瞭解目前已經研製成功的各種微器件及微系統，並能在實際的工程中考慮使用。

本書可作為從事MOEMS技術應用和開發的工程設計人員，科技管理人員以及相關專業研究生的參考書。