徐軍

1996.9--2002.4大連理工大學等離子體物理博士

1990.9--1993.7大連理工大學材料表面改性碩士

1986.9--1990.7北京理工大學應用物理學學士

1978.9--1981.7山東省軍工技工學校磨工 ^[1] 

1993.7--至今大連理工大學教師

1981.7--1986.9山東第一機械廠（國營976廠）工人 ^[1] 

等離子體技術應用；低温等離子體材料表面改性；等離子體合成新材料；等離子體增強氣相沉積各種金屬、半導體等單質薄膜及氮化物、碳化物、氧化物等各種硬質和功能化合物薄膜；氣相沉積薄膜生長機理；等離子體在線診斷技術。 ^[1] 

Zhang, Yu,Xu, Jun,Zhou, Da-Yu,Wang, Hang-Hang,Lu, Wen-Qi,Choi, Chi-Kyu.Effects of Hf buffer layer at the Y-doped HfO2/Si interface on ferroelectric characteristics of Y-doped HfO(2 )films formed by reactive sputtering[J],CERAMICS INTERNATIONAL,2018,44(11):12841-12846

Han, Dao-Man,Liu, Yong-Xin,Gao, Fei,Wang, Xiang-Yu,Li, Ang,Xu, Jun,Jing, Zhen-Guo,Wang, You-Nian.Observation of the standing wave effect in large-area, very-high-frequency capacitively coupled plasmas by using a fiber Bragg grating sensor[J],JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,2018,123(22)

Han, Dao-Man,Liu, Yong-Xin,Gao, Fei,Liu, Wen-Yao,Xu, Jun,Wang, You-Nian.Measurements of argon metastable density using the tunable diode laser absorption spectroscopy in Ar and Ar/O-2[J],CHINESE PHYSICS B,2018,27(6)

Zhang, Yu,Xu, Jun,Zhou, Da-Yu,Wang, Hang-Hang,Lu, Wen-Qi,Choi, Chi-Kyu.Structural and electrical properties of reactive magnetron sputtered yttrium-doped HfO2 films[J],CHINESE PHYSICS B,2018,27(4)

Li, Jianquan,Lu, Wenqi,Xu, Jun,Gao, Fei,Wang, Younian.Automatic emissive probe apparatus for accurate plasma and vacuum space potential measurements[J],PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY,2018,20(2)

徐軍,周大雨,陸文琪.Structrual and Electrical Properties of Reactive Magnetron Sputtered Yttrium-doped HfO2 Films[J],Chinese Physics B,2018,27(4):481031-481036 ^[2] 

一種凸凹探針及其等離子體診斷方法

數據採集卡的等效採樣方法

一種基於虛擬儀器的朗繆爾探針等離子體診斷方法

基片梯度加熱器

射頻等離子體探針裝置

一種射頻放電等離子體診斷裝置 ^[2] 

射頻等離子體物理學 ^[2] 

納米塗層等離子體製備新技術二期研發, 企事業單位委託科技項目, 2018/11/09-2019/12/31, 進行

納米塗層等離子體制備新技術研發, 企事業單位委託科技項目, 2017/09/18-2020/09/30, 進行

硅摻雜二氧化鉿反鐵電納米薄膜相變及儲能特性研究, 國家自然科學基金項目, 2016/08/17, 進行 ^[2]