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彈性反衝探測分析
鎖定
彈性反衝探測分析技術(
Elastic
Recoil
Detection
Analysis,
ERDA), 也被稱作前向反衝散射(譜),是一種
離子束分析技術,被用在
材料科學中,用以分析、測量
固體或
薄膜材料中某種元素的深度分佈。
使用
加速器將某一能量的離子束打到待測樣品上,離子與靶固體中的某種元素的原子發生
彈性碰撞,一般是由
庫侖力造成的。通過入射離子的動能、彈性碰撞反應截面、散射離子損失的能量等參數,可以檢測待測原子在樣品中不同深度的富集程度,即不同深度處某種原子所佔的比例。