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工藝技術文件

鎖定
工藝技術文件是包括圖形定義及顯示信息、互聯線工藝信息和通孔工藝信息的文件。 [1] 
中文名
工藝技術文件
外文名
technology file
圖形定義顯示信息可以告訴EDA工具各個掩模層在工具中如何顯示,包括顏色和樣式(如水平線、垂直線、網格線、斜線、反斜線等),便於各層的區分。互聯線工藝信息包含內容非常多,如金屬最高加工層數、方向、最小線寬、最小線間距、電容電阻大小、天線效應大小、金屬最大電流等。通孔信息包括各層通孔的種類、通孔電阻電容大小、連接關係等。
對於最基本的全定製版圖設計來説,只需圖形的定義及顯示信息就可以完成版圖設計了,對於上面提到的物理規則或電氣特性描述,會在一些需完成特殊功能的工具中有所要求,例如從版圖中抽取LEF庫的Abstract Generation工具。
參考資料
  • 1.    斯蒂芬A.坎貝爾.微納尺度製造工程:電子工業出版社,2011