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嚴偉
(中科院光電所微電子裝備研究室研究員)
鎖定
嚴偉,男,副研究員。在“中科院光電所微電子裝備研究室”工作,從事光刻設備及相關關鍵單元技術研究。
- 中文名
- 嚴偉
- 國 籍
- 中國
- 畢業院校
- 四川大學
- 性 別
- 男
- 職 稱
- 研究員
嚴偉社會任職
學習經歷:1996年—2000年,四川大學,學士 機械製造及其自動化2001年—2004年,中科院光電技術研究所,碩士, 光學工程2004年—2007年,中科院光電技術研究所,博士, 信號與信息處理 工作經歷: 自2000年7月起,一直在“中科院光電所微電子裝備研究室”工作,從事光刻設備及相關關鍵單元技術研究。
嚴偉獲獎及榮譽
在微電子光刻裝備領域開展多年研究,對微電子裝備相關理論有較為深刻的理解,發表科技論文29篇(SCI6篇)、申請專利29項(授權15項);曾獲四川省科技進步二等獎和三等獎各一項;2011年入選首屆“中國科學院青年創新促進會”;2010年入選西部之光人才計劃—“聯合學者”;2009年獲光電所創新人才獎,2007年獲中國半導體行業協會半導體創新產品和技術獎;組織編寫了生物芯片檢測儀器醫療器械標準,獲得生物芯片檢測系統分析軟件版權2項。
嚴偉科研項目
在國家科技重大專項工程項目中的重點工程中擔任主任設計師、儀器專項工程項目主任設計師,正在開展整機測控系統的研製工作。
參加完成中科院知識創新工程交叉學科重大方向性項目—生物芯片儀器研製工作;主持開展自然科學基金項目“適用於雙工件台光刻機的高精度離焦量解耦算法研究”,參與完成了863“實現納米分辨力的新型紫外光刻機研製”任務、863“基於DMD的步進投影數字光刻系統”研製任務、自然科學基金“納米光柵掩模提高分辨力的原理和方法研究”;主持了西部之光“精密步進式無掩模數字曝光裝置”、“便攜式生物芯片檢測系統”、“紫外固化原位光刻機”、“紫外深度曝光系統”、“URE-2000S/A雙面光刻機”等項目的研製工作。
- 參考資料
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- 1. 副研究員 .中國科學院光電技術研究所 [引用日期2014-11-05]
- 2. 嚴偉-中國科學院大學-UCAS .中國科學院大學[引用日期2023-02-23]