分子泵

這種泵具體可分為：

（1）牽引分子泵 氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。

（2）渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。

（3）複合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種複合型的分子真空泵。

（1）轉子轉速達到20000r/min，故分子泵啓動時間較長。

（2）氣體處於分子流狀態，故需要配備前級泵，一般使用旋片泵作為前級泵。

複合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯組合，集兩種泵的優點於一體。泵在很寬的壓力範圍內 (10-6 ～ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。法國 Alcatle 公司生產的一種採用氣體靜壓軸承和動密封的複合分子泵，可以做到完全無油，且不用前級泵直接向大氣中排氣。

複合式分子泵的形式很多，按結構分，主要有兩種：一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯組合。渦輪級主要用來提高泵的抽速，一般採用有利於提高抽速的葉片形狀，級數在 l0 級以內。牽引級主要用來增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

盤式牽引級是在平板圓盤平面上按一定規律開出數條型線溝槽，然後將數塊圓盤串接起來構成，型線有阿基米德螺線、對數螺線、圓弧線等。抽氣時靠高速轉動的圓盤對氣體分子進行“拖動”，使其沿溝槽作由內向外及由外向內的往復折回的定向流動，從而達到抽氣目的。

筒式牽引級是在圓筒形的轉子或定子的圓柱面上開一定斷面形狀的溝槽，如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由於簡式牽引泵型線溝槽開在轉子圓柱外表面或泵體內表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進行動量傳遞，提高泵的抽氣效果。在設計製造中，可以通過改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角 ( 螺旋升角 ) 來達到較理想的抽氣效果。

在複合分子泵的設計中，必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關係。由於渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結構的聯接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉變，使氣體分子的運動在聯接處由有序變成無序，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設計時應在渦輪級和牽引級轉換處加上過渡級結構，以提高泵的抽氣性能。

隨着複合分子泵的不斷改進，其應用領域越來越廣，在某些抽氣系統上可以替代擴散泵，縮短了系統的抽氣時間，並可獲得無油污染的清潔真空環境。

JB/T 10771-2007 真空技術 複合分子泵

JB/T 9125-2007 真空技術 渦輪分子泵

SJ 3192-1989 立式渦輪分子泵型式與基本參數

SJ/T 10097-1991 F-250/1400型立式渦輪分子泵

SJ/T 11085-1996 立式渦輪分子泵通用技術條件

ISO 5302:2003《真空技術 渦輪分子泵性能參數的測量》

GB/T 7774-2007 真空技術 渦輪分子泵性能參數的測量