全息光柵

在光學穩定的平玻璃坯件上塗上一層給定型厚度的光致抗蝕劑或其他光敏材料的塗層。由激光器發生兩束相干光束，使其在塗層上產生一系列均勻的干涉條紋，則光敏物質被感光。然後用特種溶劑溶蝕掉被感光部分，即在蝕層上獲得干涉條紋的全息像。所製得為透射式衍射光柵；如在玻璃坯背面鍍一層鋁反射膜後，可製成反射式衍射光柵。

這種方法制造的光柵線槽密度高，劃面寬度大，刻線可達3663～4234條/mm，面積可達165×320mm2。

全息光柵沒有鬼線，雜散光小，可消除機刻光柵的固有缺點，其實際分辨本領可達理論分辨本領的80%～100%。

a. 工作時不會產生鬼線和伴線，這是廣大使用者最歡迎的。

b. 不存在刻劃光柵刻槽的微觀不規則或毛刺等缺陷，所以雜散光遠遠小於刻劃光柵的雜散光。

c.衍射效率較低，全息光柵的槽形通常為近似正弦波形，這種槽形不具備閃耀條件，沒有明顯的閃耀特性。據稱，採用“離子蝕刻”技術的全息光柵，使光柵衍射效率得到較大提高。

d.分辨率高。由於全息技術使光柵刻線總數大幅度增加，因此色散率、分辨率也大幅度得到提高。

e. 適當改變製作條件，就可製作成消像差的全息光柵。

f. 可以製作任意尺寸的全息光柵。

g. 製造週期短。

h. 製造成本低。 ^[1]