光柵式指示表檢定儀

指示表國家計量檢定規程JJG34—2008明確規定，首先使用數顯式指示表檢定儀，而機械式百分表檢具和千分表檢定儀，由於其工作效率很低，分辨能力不高而位居次席。

國外公司(德國、日本)也有同類產品在我國展銷，但由於價格昂貴(性能與國內產品相同)，維修困難，很少有人問津。

光柵式指示表檢定儀是利用光柵測長原理，把直線位移變成電信號，經前置放大、分相、整形、電子細分，將脈衝信號進行記數和顯示，並利用微處理器進行數據處理，最後由微型打印機打印出檢定數據和結果。其框圖如下 ^[1]  。

光柵測長的原理是將光源發出的光，通過望遠系統變為平行光，照射到柵線面相對的透射式標尺光柵和指示光柵上，當標尺光柵相對固定的指示光柵沿柵線垂直方向移動時，則所產生的明暗相間的莫爾條紋沿柵線方向移動。兩塊光柵尺相對移動一個柵距，莫爾條紋的光強週期地變化一次，並掃過安放在指示光柵前的四隻光電元件，從而產生兩路正弦電信號，經電路系統處理後，變成脈衝信號。由於儀器測杆與標尺光柵剛性連接，故測杆位移L與脈衝信號的關係可用下式表達

L=A?N=

式中，A—脈衝當量；n—電路細分能力；k—光柵線紋密度；N—脈衝數。

脈衝當量是每一個脈衝相當的位移尺寸。設n=100，k=100，N=1，則

L=　×1=0?1μm

上式説明，當採用100線光柵時，電信號經過100細分後，測杆每移動0?1μm，電路將給出一個電脈衝。由微機記取脈衝數即可準確地得到被測尺寸大小。

SJ3000光柵式指示表檢定儀 SJ3000光柵式指示表檢定儀（電動） SJ2000光柵式指示表檢定儀（全自動）

ZJ-G型數顯指示表檢定儀 SZJ-G型數控指示表檢定儀 FT-50型全自動指示表檢定儀

本儀器包括光柵傳感器（含三種夾具）、機器視覺系統、精密光電測控系統、高速計算機、打印機、檢定軟件

測 量 範 圍： 0-50mm

示值分辨率 ： 0.1μm

自動讀表精度： 優於0.1分度

自動檢定速度： 每點0.5S

工 作 環 境： （20+5）℃ 相對濕度（50-70）%

電 源：AC220V 50HZ

示 值 誤 差： 0-10mm：任意2mm內≤0.5μm 全程最大誤差≤0.8μm

0-50mm：任意2mm內≤0.5μm 任意10mm內≤0.8μm

全程最大誤差≤2.0μm 全程回程誤差≤0.5μm