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低能電子顯微術
鎖定
低能電子顯微術是新發展起來的一種顯微探測技術。它的特點是利用低能(1-30eV)電子的彈性背散射使表面實空間實時成像,具有高的橫向(15nm)和縱向(原子級)分辯率,且易與低能電子衍射及其他電子顯微術相結合。
- 中文名
- 低能電子顯微術
- 外文名
- Low energy electron microscopy
- 學 科
- 材料工程
- 領 域
- 工程技術
低能電子顯微術簡介
低能電子顯微術是新發展起來的一種顯微探測技術。它的特點是利用低能(1-30eV)電子的彈性背散射使表面實空間實時成像,具有高的橫向(15nm)和縱向(原子級)分辯率,且易與低能電子衍射及其他電子顯微術相結合
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低能電子顯微術應用
它已有效地應用於金屬和半導體表面的形貌觀測、表面相變、吸附、反應和生長過程的研究。
低能電子顯微術最新研究進展
入射電子在樣品中的散射、二次電子的產生機制和低能電子逸出的能量閾值效應。在大能隙半導體或絕緣體中,低能電子的非彈性散射自由程顯著大於金屬,從而為納米材料的表徵提供了條件。綜述了低能電子顯微術(LEEM)、低能電子投影顯微術、彈道電子發射顯微術(BEEM)、光發射電子顯微術(PEEM)等低能電子顯微方法,介紹了這些方法得到的許多結果
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