低壓法

低壓法，全稱“低壓氣相沉積法”。在低壓、高温條件下，由含碳氣體沉積成金剛石的方法。不需要複雜的高壓高温設備，費用低。最有成效的是用化學氣相沉積法生長金剛石薄膜。金剛石在亞穩態形成，採用外延法生長金剛石。化學氣相法和物理氣相沉積法所能生產的是多晶金剛石薄膜。 ^[1]