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低介電常數物質
鎖定
- 中文名
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低介電常數物質
- 外文名
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Low dielectric constant material
- 定 義
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k比較低的電介質
- 主要應用
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微電子領域
- 屬 性
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計算機硬件術語
低介電常數物質簡介
在
電子技術不斷髮展,微電子工業一直以來仍舊基本保持着
摩爾定律的正確性。為了提高集成電路的性能和速度,越來越多,越來越小的晶體管被集成到芯片中。隨着這種小型化的趨勢,芯片中不同層導線之間的距離也隨之減小。用作導線之間絕緣層的
二氧化硅(SiO2)由於厚度的不斷縮小使得自身
電容增大。這種電荷的積聚將干擾信號傳遞,降低電路的可靠性,並且限制了頻率的進一步提高。為了解決這個問題,微電子工業將應用低介電常數材料代替傳統的
二氧化硅絕緣材料。
低介電常數物質製備方法
由於空氣有極低的介電常數(k=1),所以在一般的
電介質中加入空氣泡可以極大的降低介電常數。生產低介電常數物質所用的方法即是用高分子聚合物(k~2.5)作為基底加入納米尺度的空氣泡,可以將k降低到2.0甚至以下。但是由於低
介電常數物質還需要經受苛刻的工業加工過程,它的強度,韌性,耐熱性,耐酸性都要有嚴格的限制。
低介電常數物質相關研究
低介電常數
聚合物材料的研究進展,着重介紹了
聚酰亞胺、聚苯並惡嗪、
聚硅氧烷、聚酰胺等低介電常數聚合物的研究狀況
[1]
。
在
信息科技產業領域,微電子產品的多功能化、高性能化及輕薄化的發展大大推動了超高密度和
超大規模集成電路關鍵技術及材料的發展。為了解決高密度集成所帶來的
信號延遲和功率損耗等問題,新一代高性能低介電甚至超低
介電材料的開發成為這一領域最重要的研究方向之一。
聚酰亞胺作為重要的絕緣封裝材料,廣泛應用於航天航空和微電子信息領域
[2]
。
- 參考資料
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1.
周成飛.低介電常數聚合物材料的研究進展[J].橡塑技術與裝備,2017,43(14):41-44.
-
2.
貝潤鑫,陳文欣,張藝,劉四委,池振國,許家瑞.低介電常數聚酰亞胺薄膜的研究進展[J].絕緣材料,2016,49(08):1-11.