三氯甲硅烷

【閃點】-27.8℃

【氣體粘度】117.43μP @ 32℃ ^[1] 

【液體粘度】0.319cP @ 25℃

【溶解情況】溶於二硫化碳，四氯化碳、氯仿、苯等。

由硅粉與氯化氫反應而得。反應副產物為氫氣，方程式為：

Si + 3HCl → SiHCl₃ + H₂

主要副產物是四氯化硅（SiCl₄）、六氯乙硅烷（Si₂Cl₆）和二氯甲硅烷（SiH₂Cl₂），可以通過蒸餾分離出三氯硅烷。

遇水分解，生成硅氧烷聚合物和氯化氫。易燃，在空氣中能自燃。有刺激性臭味。有毒。其結構與氯仿類似，可以認為是氯仿的硅類似物。

三氯硅烷是生產純化多晶硅的基本原料：

SiHCl₃ → Si + HCl + Cl₂

通過發生硅氫化反應，三氯硅烷也是其他有用的有機硅化合物的前體，例如十八烷基三氯硅烷（OTS）和全氟癸基三氯硅烷（FDTS）。三氯硅烷也是苯甲酸轉化為甲苯衍生物的反應催化劑。