apt

APT是一種在原子尺度上提供三維（3-D）斷層掃描圖像和化學識別的技術。該技術結合了高空間分辨率和高化學靈敏度。 空間分辨率的深度為0.3nm，橫向為0.5nm。 大多數元素的化學敏感度為幾十ppm。

APT需要將樣品製備成針狀，其頂端半徑為50-100 nm。 低温冷卻針樣品（25-100K）用DC電壓（2-15 kV）偏置。在針尖處產生的靜電場（幾十V / nm）與脈衝激光或脈衝電壓相結合，觸發一個或多個原子從頂點表面蒸發。使用位置敏感探測器（PSD）記錄每個探測到的離子的位置，同時基於飛行時間計算化學特性。