X-熒光儀

分析精度高。 可以對4Be到92U進行定性、定量分析。 元素的檢量範圍從0.0001% ~ 100%，如進行前處理，可以再下降2 ~ 3個數量級。 可以分析材料的狀態包括：粉末樣品、塊狀樣品、液體樣品。 對應超輕元素的X射線光管 採用4kW、30µm薄窗X射線光管，可高靈敏度測試超輕元素。 採用新型光學系統 採用新型分光晶體，與第二代儀器分光晶體相比，大幅度提高了靈敏度。 48樣品交換器 實現平台式共享化，最多可放置48個樣品。 多樣品交換器實現了省空間。 1次X射線濾光片 除去X射線光管的特徵X射線光譜， 在減低背景干擾方面發揮威力。 定點分析 100µm的Mapping分辨率。可在CCD圖像 上指定點、區域、線。定點最小直徑500µm。 採用r-θ樣品台，避免1次X射線的照射面、以及分光晶體的反射強度的干擾，可得到最佳靈敏度分析結果。 (無 r-θ 樣品台) 節能、節省空間。 ^[1] 

分析範圍： Be - U 較小的佔地面積 微區分析 上照設計 30 μm超薄窗 Mapping: 元素分佈 He 密封:樣品室一直在真空環境中 輕元素（B,C）靈敏度大幅度提高 配備最新的、高強度的分光晶體RX-25,RX-61,RX-75 重金屬的高靈敏度分析-採用最新型光學系統 高靈敏度微區分析-Mapping位置分辨率100µm 完美的無標樣分析-最新的SQX軟件 儀器設計充分考慮周邊環境-節能、省空間。 ^[1]