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SPC

（固相結晶化）

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SPC(Solid Phase Crystallization)為固相結晶化的英文首字母縮寫。
中文名
固相結晶化
外文名
SPC
固相結晶化是指在LTPS TFT-LCD製作過程中，採用熱處理工藝將非晶硅( a-Si)層轉變為多晶硅(p-Si)層。目前，實用上的熱處理基本上是激光熱處理。 [1] 
參考資料