複製鏈接
請複製以下鏈接發送給好友
https://baike.baidu.hk/item/SOG/18152286
複製
複製成功

SOG

（旋轉塗布玻璃）

鎖定
SOG(spin on glass coating)旋轉塗布玻璃，為半導體制程上主要的局部性平坦化技術。
外文名
SOG
含    義
將含有介電材料的液態溶劑以旋轉塗布(spin Coating)方式，均勻地塗布在晶圓表面，以填補沉積介電層凹陷的孔洞
SOG是將含有介電材料的液態溶劑以旋轉塗布(spin Coating)方式，均勻地塗布在晶圓表面，以填補沉積介電層凹陷的孔洞。之後，再經過熱處理，可去除溶劑，在晶圓表片上留下固化(Curing)後近似二氧化硅(SiO2)的介電材料。