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SIMOX
鎖定
SIMOX SOI晶片是在高温條件下,將高劑量氧離子注入到單晶硅中形成隔離層,在超高温退火條件下形成頂層硅、二氧化硅埋層、體硅三層結構的新型半導體材料。主要用於製造高速微處理器、高速通訊、三維圖象處理、先進多媒體電路、低壓低功耗移動計算機、移動電話、便攜式電子設備電路。
- 中文名
- SIMOX
- 外文名
- separation by implantation of oxygen, separation with implanted oxygen
- 技術特點
- 可實現完全介質隔離
SIMOX(separation by implantation of oxygen, separation with implanted oxygen):注氧隔離
技術特點:
1.可實現完全介質隔離
2.低壓、低功耗
3.運行速度快
4.抗輻射性能好
5.耐高温
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