RTP

RTP 快速熱處理（rapid thermal processing)，是一種升温速度非常快的，保温時間很短的熱處理方式。升温速率能達到10~100攝氏度每秒。一般採用紅外鹵素燈或者電阻棒加熱，加熱時電流很大，功率很大。實驗室一般採用專門的RTP爐進行實驗。是半導體制造中的一道工藝，可以用於離子注入後的雜質快速激活、快速熱氧化等。此方法能大量節省熱處理時間和降低生產成本，是熱處理上的一次革新。