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MTS

（甲基三氯硅烷的簡稱）

鎖定
MTS是甲基三氯硅烷的簡稱。
中文名
MTS
外文名
CH3SiCl3 [1] 
熔    點
-90 ℃ [1] 
相對密度
1.28 [1] 
相對蒸汽密度
5.2 [1] 
閃    點
-9 ℃ [1] 
爆炸極限
7.2-11.9% [1] 

目錄

  1. 1 特點
  2. 2 應用

MTS特點

容易潮解，有刺鼻惡臭。 [1] 

MTS應用

MTS可通過氣相沉積法制作SiC電子產品。 [1] 
參考資料
  • 1.    《志橙半導體SiC材料研發製造總部項目環境影響報告書》（批文號：穗開審批環評〔2022〕143 號）