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MOCVD系統

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MOCVD系統是一種用於電子與通信技術領域的工藝試驗儀器,於2000年11月1日啓用。
中文名
MOCVD系統
產    地
美國
學科領域
電子與通信技術
啓用日期
2000年11月1日
所屬類別
工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體集成電路工藝實驗設備

MOCVD系統技術指標

採用化學汽相澱積方法,在GaAs或InP襯底上進行外延生長,製備各種微電子或光電子器件。 [1] 

MOCVD系統主要功能

參考資料
  • 1.    MOCVD系統  .國家科技基礎條件平台中心[引用日期2021-01-23]