MEMS壓力傳感器

1.應用於汽車行業

MEMS壓力傳感器在汽車中的一個新應用是傳動系統壓力感測，通常用於自動裝置之中，但也用於新型雙離合器傳動系統。德國廠商推出了一款MEMS解決方案，使用油來保護硅薄膜，使其可以最高耐受70巴的壓力。博世幾年前也曾為MEMS壓力傳感器帶來巨大變化，當時使用的是多孔硅，帶來了高度可靠的MEMS器件，這些器件已用於目前的側面氣囊等應用之中。

2.應用於醫療市場

壓力傳感器主要充當外科手術使用的一次性低成本導管。但它們也用於昂貴的設備之中，在連續氣道正壓通氣（CPAC）機中感測壓力與差流。

3.應用於工業領域

MEMS壓力傳感器的主要應用包括採暖通風及空調（HVAC）、水平面測量、各種工業過程與控制應用。例如，除了精確的高度氣壓測量，飛機使用傳感器監測引擎、襟翼等其它部件。 ^[1]