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https://baike.baidu.hk/item/LPCVD/5832370
LPCVD
鎖定
LPCVD--Low Pressure Chemical Vapor Deposition低壓力
化學氣相沉積法
廣泛用於
氧化硅
、
氮化物
、
多晶硅
沉積,過程在管爐中執行,要求也相當高的
温度
。
外文名
LPCVD
全 稱
Low Pressure Chemical Vapor Deposition
圖集
LPCVD的概述圖(1張)
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歷史版本
最近更新:
240018250
(2023-09-09)
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