BSE

背散射電子是被固體樣品中的原子核反彈回來的一部分入射電子。其中包括彈性背散射電子和非彈性背散射電子。 能量很高，有相當部分接近入射電子能量 E 0 ，在試樣中產生的範圍大，像的分辨率低。

背散射電子發射係數 η =I B /I 0 隨原子序數增大而增大。 作用體積隨入射束能量增加而增大，但發射係數變化不大。當電子束照射樣品時，入射電子在樣品內遭到衍射時，會改變方向，甚至損失一部分能量(在非彈性散射的情況下)。