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BOE
(緩衝氧化物刻蝕液)
鎖定
- 中文名
- 緩衝氧化物刻蝕液
- 外文名
- BOE
物質簡介
Buffered Oxide Etch,BOE就是buffer oxide etch, B.O.E 緩衝蝕刻液 BOE是HF與NH4F依不同比例混合而成。6:1 BOE蝕刻即表示49%HF水溶液:40%NH4F水溶液=1:6(體積比)的成分混合而成。刻蝕速度約10nm每秒。HF為主要的蝕刻液,NH4F則作為緩衝劑使用。利用NH4F固定〔H+〕的濃度,使之保持一定的蝕刻率。HF會浸蝕玻璃及任何含硅石的物質,對皮膚有強烈的腐蝕性,不小心被濺到,應用大量水沖洗。
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