-
高飛
（大連理工大學物理學院教授）
鎖定
高飛，教授/博士生導師，物理學院副院長，三束材料改性教育部重點實驗室副主任，大連理工大學星海人才培育計劃“星海優青”入選者，射頻等離子體模擬和實驗團隊（大連理工大學科技創新團隊）的核心骨幹成員，曾獲大連市科學技術獎一等獎。
主要從事射頻等離子體物理過程及與材料相互作用的研究。工作面向IC裝備製造產業，採用實驗診斷和數值仿真模擬的方法研究射頻感應耦合等離子體刻蝕機、PECVD裝備中的等離子體工藝腔室的放電機理。面向磁約束核聚變中性束注入系統中關鍵裝備——大功率低氣壓射頻負氫離子源開展物理基礎研究。
作為負責人承擔國家重點研發計劃課題1項、國家自然科學基金面上項目2項、青年項目1項及其他縱向/橫向課題若干項，主持項目總經費超千萬元；並作為核心成員參與完成國家科技重大專項課題1項、ITER項目1項及國家自然科學基金重點項目等若干項，參與項目經費共計兩千多萬元。
- 中文名
- 高飛
- 畢業院校
- 大連理工大學
- 學位/學歷
- 博士
- 專業方向
- 等離子體物理
- 任職院校
- 大連理工大學
高飛研究方向
射頻感性耦合等離子體物理
大功率負氫離子源物理
離子束與等離子體相互作用
高飛學術成果
高飛論文成果
高飛,王友年.Experimental investigation of the electron impact excitation behavior in pulse-modulated radio frequency Ar/O2 inductively coupled plasma[J],J. Appl. Phys.,2019,125:23303-23303
左春彥,高飛,戴忠玲,王友年.高功率微波輸出窗內側擊穿動力學的PIC/MCC模擬研究[J],物理學報,2018,22:340-350
Li, Jian-quan,Lu, Wen-qi,Xu, Jun,Gao, Fei,Wang, You-nian.A comparative study of emissive probe techniques for vacuum space potential measurements[J],VACUUM,2018,155:566-571
Yang, Wei,Li, Hong,Gao, Fei,Wang, You-Nian.A global model study of the population dynamics of molecular hydrogen and the generation of negative hydrogen ions in low-pressure ICP discharge with an expansion region: effects of EEPF[J],PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY,2018,27(7)
Han, Dao-Man,Liu, Yong-Xin,Gao, Fei,Wang, Xiang-Yu,Li, Ang,Xu, Jun,Jing, Zhen-Guo,Wang, You-Nian.Observation of the standing wave effect in large-area, very-high-frequency capacitively coupled plasmas by using a fiber Bragg grating sensor[J],JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,2018,123(22)
Han, Dao-Man,Liu, Yong-Xin,Gao, Fei,Liu, Wen-Yao,Xu, Jun,Wang, You-Nian.Measurements of argon metastable density using the tunable diode laser absorption spectroscopy in Ar and Ar/O-2[J],CHINESE PHYSICS B,2018,27(6)
[2]
高飛發明專利
一種細長管射頻感應耦合等離子體源反應器
Positive and negative ion source based on radio-frequency inductively coupled discharge
一種基於射頻放電的正負離子源
一種適用於低氣壓甚高頻放電中交變磁場強度測量的探針
提高等離子體徑向均勻性的等離子體腔室
高飛科研項目
CFETRN-NBI負離子源仿真優化設計及實驗評估, 國家科技部 , 2017/07/01, 進行
高功率微波輸出窗真空及不同氣壓下等離子體放電模擬研究, 其他課題, 2015/10/30-2016/10/30, 完成
面向刻蝕工藝的脈衝調製射頻感應耦合等離子體源的特性研究, 國家自然科學基金項目, 2016/08/17, 進行
寬能域離子束在等離子體中的能量沉積及其激發的自調製不穩定性和尾波場, 國家自然科學基金項目, 2015/09/01, 進行
射頻感應耦合等離子體對材料表面上原子再複合行為的影響, 國家自然科學基金項目, 2012/09/25, 完成
