顯微分析技術資料彙編

本書收集了五篇文章．第一篇《電子光學微觀分析儀器概述》，在討論電子與物質的交互作用以及產生的各種信息（如彈性散射電子、二次電子、俄歇電子、特徵X射線等）的基礎上，簡單介紹透射電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡電子探針微分析儀、俄歇電子能譜儀等電子光學微觀分析儀器的原理及特點，特別是它們在顯微組織分析（微觀形貌、化學成分、晶體結構）方面的應用．

第二篇《掃描電子顯微鏡》介紹了掃描電鏡的性能特點、成象原理、儀器結構、樣品製備和應用舉例．其它三篇介紹了電子探針定量分析方法；電子探針中關於X射線測量的統計誤差處理；以及電子探針的電氣性能測試方法和維護使用問題．

本書可供從事金屬材料分析、檢驗人員和高等院校金相和金屬物理專業的師生參考． ^[1] 

目錄

電子光學微觀分析儀器概述 郭可信

掃描電子顯微鏡 劉永康

電子探針定量分析方法 崔乃俊

電子探針中關於X射線測量的統計誤差處理問題 劉茂江 李永祚

電子探針分析儀電氣性能的測試方法和維護使用中若干問題的分析處理方法 牛存義 周美安 陳永祺 ^[1]