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顆粒狀多晶硅
鎖定
顆粒狀多晶硅，在流態化牀內進行化學氣相沉積製成的，平均粒徑為1mm左右的顆粒狀多晶硅。
- 中文名稱
- 顆粒狀多晶硅
- 英文名稱
- granular polysilicon
- 定 義
- 在流態化牀內進行化學氣相沉積製成的，平均粒徑為1mm左右的顆粒狀多晶硅。
- 應用學科
- 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科）
以上內容由全國科學技術名詞審定委員會審定公佈
- 中文名
- 顆粒狀多晶硅
- 外文名
- granular polysilicon
- 定 義
- 在流態化牀內進行化學氣相沉積製成的，平均粒徑為1mm左右的顆粒狀多晶硅。
- 應用學科
- 元素半導體材料（三級學科）
- 詞條統計
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