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預對準
鎖定
- 中文名
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預對準
- 外文名
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Pre-alignment
機械手把
晶圓安放在工件台上後,首先是要預對準。晶圓的預對準是通過對其邊緣的測定來實現的,即通過探測晶圓邊緣的缺口來完成。根據SEMI標準,晶圓邊緣必須有一個小缺口(notch),這個缺口可以是圓弧形的也可以是直線形的。
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預對準標識是透光的,其周圍是不透光的。發光二極管在掩模的預對準標識上方照明,光線透過對準標識,被
探測器接收。每個探測器分為對稱的四個區域,可以分別探測光信號,用來判斷其對應位置。
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- 參考資料
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1.
韋亞一.超大規模集成電路先進光刻理論與應用.北京:科學出版社,2016:120-121