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韓宇
(遼寧大學物理系教授)
鎖定
研究方向:離子注入半導體材料表面改性機理、材料物理。
主持科研項目:
1、瀋陽市科技局項目《雙晶X射線衍射研究組合離子注入材料改性機理》
2、遼寧省教委項目《組合離子注入材料改性機理的研究》
發表論文:
《N2+/As+組合離子注入硅的晶格應變及退火特性》
半導體學報2004 No.4
《XRD研究組合離子注入硅的輻射損傷》
微處理機2004 No.1
《組合離子注入的雜質濃度分佈與損傷分佈比較》
遼寧大學學報 2004 No.1
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- 參考資料
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- 1. 物理學院成功舉辦暗能量學術報告 .遼寧大學物理學院[引用日期2023-09-26]
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