非晶硅太陽能電池

基於晶體硅(單晶硅和多晶硅)的太陽能電池由於發展歷史較早且技術比較成熟，在裝機容量一直佔據領先地位。儘管技術進步和市場擴大使其成本不斷下降，但由於材料和工藝的限制，晶體硅太陽能電池進一步降低成本的空間相當有限，很難達到光伏科學家和能源專家在上世紀80年代初預測的光伏發電與柴油發電競爭的臨界點——太陽能電池的成本1美元/瓦。因此第一代太陽能電池很難承擔太陽能光伏發電大比例進入人類能源結構併成為基礎能源的組成部分的歷史使命，非晶硅太陽能電池益發得到世界各國的重視。

非晶硅電池一般採用PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition——等離子增強型化學氣相沉積)方法使高純硅烷等氣體分解沉積而成的。此種製作工藝，可以在生產中連續在多個真空沉積室完成，以實現大批量生產。由於沉積分解温度低，可在玻璃、不鏽鋼板、陶瓷板、柔性塑料片上沉積薄膜，易於大面積化生產，成本較低。在玻璃襯底上製備的非晶硅基太陽能電池的結構為：Glass/TCO/p-a-SiC：H/i-a-Si：H/n-a-Si：H/Al，在不鏽鋼襯底上製備的非晶硅基太陽能電池的結構為：SS/ZnO/n-a-Si：H/i-a-Si(Ge)：H/p-na-Si：H/ITO/Al。