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電弧蒸發

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電弧蒸發,將蒸發材料作為電極,在外加電壓下,電極間依靠等離子體導電產生弧光放電,從而使電極材料被蒸發。 [1] 
中文名稱
電弧蒸發
英文名稱
arc evaporation
定  義
將蒸發材料作為電極,在外加電壓下,電極間依靠等離子體導電產生弧光放電,從而使電極材料被蒸發。
應用學科
材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),薄膜製備技術(四級學科)
中文名
電弧蒸發
外文名
arc evaporation
應用學科
材料科學技術
來源出處
材料科學技術名詞 [1] 

電弧蒸發應用學科

電弧蒸發一級學科

材料科學技術 [1] 

電弧蒸發二級學科

材料科學技術基礎 [1] 

電弧蒸發三級學科

材料合成、製備與加工 [1] 

電弧蒸發四級學科

薄膜製備技術 [1] 
參考資料