電容式位移傳感器

具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優點。在國內研究所，高等院校、工廠和軍工部門得到廣泛應用，成為科研、教學和生產中一種不可缺少的測試儀器。

主要用於解決下述各種測量問題：

壓電微位移、振動台，電子顯微鏡微調，天文望遠鏡鏡片微調，精密微位移測量等。

電容式位移傳感器的電容器極板多為金屬材料，極板間襯物多為無機材料，如空氣、玻璃、陶瓷、石英等;因此可以在高温、低温強磁場、強輻射下長期工作，尤其是解決高温高壓環境下的檢測難題。 ^[1] 

該傳感器還可與控制室中的二次儀表或控制器相連，在線、連續、實時的檢測各種數據然後直接顯示，遠程控制和報警。實現數據存儲，積算、傳輸和控制功能。廣泛應用於各種注塑機中。

電容式位移傳感器尤其適合緩慢變化或微小量的測量，一般來説採用電容式傳感器進行檢測比較適宜。電容式位移傳感器的這些性能必然促使其應用範圍越來越廣泛。

量程：20～1250μm；

分辨率：<0.1nm；零磁滯；

線性最高0.02%；

頻帶可調：50～5000Hz；

靈敏度可調：5～125μm/V；

真空兼容選項；

非接觸式測量方法；