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電子純

鎖定
電子純是高純試劑的一種分類,主要是針對的是電子元件中使用的化學試劑,又稱超淨高純試劑,最重要的特點就是金屬含量極低。
中文名
電子純
定    義
電子元件中使用的化學試劑
用    途
純度和潔淨度對集成電路的成品率
特    點
超淨高純試劑具有品種多

目錄

電子純用途

用於硅片清洗,光刻,腐蝕工序,其純度和潔淨度對集成電路的成品率、電性能及可靠性都有着十分重要的影響。

電子純特點介紹

超淨高純試劑具有品種多、用量大、技術要求高、貯存有效期短和強腐蝕性等特點。

電子純分級

國際半導體工業協會(SemiconductorIndustryAssociation)推出Semic7(適合0.8-1.2微米工藝技術)和Semic8(適合於0.2-0.6微米工藝技術)級別的試劑質量標準。
我國在原有的MOS級和BV-1級的基礎上,又陸續推出BV-2,BV-3等規格