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電子束曝光機
鎖定
電子束曝光機是一種用於數學領域的分析儀器，於2007年01月01日啓用。
- 中文名
- 電子束曝光機
- 產 地
- 日本
- 學科領域
- 數學
- 啓用日期
- 2007年01月01日
- 所屬類別
- 分析儀器
電子束曝光機技術指標
電子束曝光機主要功能
電子束曝光機是一台加工設備，其加工目的是在電子束感光膠上製備出納米級的結構。該設備電子的加速電壓達到100KV，掃描速度12MHz，具有10個承片台；因此其具有加工精度高，速度快，自動化程度高等特點，從而具有比較高的工作效率。加工樣品不需要掩膜版製備，使得圖形能夠靈活多變，非常適用於科研探索。
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- 參考資料
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- 1. 電子束曝光機 ．國家科技基礎條件平台中心[引用日期2020-11-16]
