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電子探針X射線顯微分析
（電子探針Ⅹ射線顯微分析）
鎖定
即運用電子所形成的探測針（細
電子束）作為
X射線的激發源，來進行顯微X射線光譜分析。基本原理是電子束經過
電子光學系統如靜電或
電磁透鏡聚焦到樣品中約1平方微米的區域，樣品經電子束的轟擊，輻射出X射線；通過
X射線譜儀，對待測元素X射線譜的波長和強度進行測量，逐點地定性和定量分析。通過電子掃描同步系統和電子顯示，可使樣品中各種組成的分佈情況，以放大的圖像直接顯示於熒光屏上。因此，
電子探針X射線顯微分析儀是礦物研究工作中既能微觀觀察，又能同時分析微區成分的精密儀器。
- 中文名
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電子探針X射線顯微分析
- 定 義
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即運用電子所形成的探測針（細電子束）作為X射線的激發源，來進行顯微X射線光譜分析
電子探針X射線顯微分析引用示例
學科：巖礦分析與鑑定
詞目：電子探針X射線顯微分析
英文：electron microprobe X-ray micro-analysis
釋文：它能分析直徑為1微米的物質，
檢出限可低至10^-14～10^-15克。樣品分析後，不被破壞，屬非破壞性分析。應用已相當廣泛，主要用於岩石礦物的深度分析，如與薄片鑑定結合，檢測未知礦物及難辨礦物——片鈉鋁石、
鈉沸石、
皂石……如與
陰極發光顯微鏡相結合，可揭示礦物的發光機制；如與
掃描電鏡配合，可精確測定掃描電鏡下的各種粘土礦物及未知礦物，使形態觀察與
成分分析密切聯繫；還可與X衍射分析結合，詳細測定各種礦物，包括混層粘土礦物的成分等等。總之，
電子探針以其特長在分析鑑定微礦物、微成分方面，有着廣闊的應用前景。
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- 參考資料
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