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電子探針微區分析

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電子探針微區分析又稱電子探針顯微分析，是試樣非破壞性微區化學元素定性定量分析方法。
中文名
電子探針微區分析
別    名
電子探針顯微分析
介紹
試樣直徑在1 m、體積 T 1 um3範圍，以直徑Cf . 一lum的電子束激發，其中各種元素受激發射出特徵x射線。以此確定微區中所含化學元素， 並根據其強度進行定量分析。可用顯微鏡確定試樣某一位置 上的組分及組分的空間分佈 [1] 
參考資料
  • 1.    化學化工大辭典