離軸照明

如圖1所示，在採用離軸照明的曝光系統中，掩模上的照明光線都與投影物鏡主光軸有一定的夾角。入射光經掩模發生衍射，左側光源的0級，-1級衍射光與右側光束的+1級，0級衍射光參與成像 ^[2]  。

離軸照明實際上是一種兩束光成像技術，即通過調整光線在掩模上的入射角，只有兩束（0，+1或-1）衍射光被投影透鏡收集，並在晶圓表面成像，離軸照明的特點是沒有沿主光軸方向傳播的光。環形照明，四級照明和二級照明都屬於離軸照明。 ^[3]  研究表明，離軸照明是一種很有效的光刻分辨增強技術。離軸照明最大的優點是能提高聚焦深度；離軸照明最大的問題是，所收集的衍射光束是不對稱的，0級衍射光的光強遠大於+1和-1級衍射光 ^[4]  。