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陰極沉積
鎖定
陰極沉積是2011年公佈的材料科學技術名詞。
- 中文名稱
- 陰極沉積
- 英文名稱
- cathodic deposition
- 定 義
- 真空室中只有陰極和陽極，陰極上裝有被濺射材料，利用高電壓下兩極間氣體自持放電的濺射沉積技術。
- 應用學科
- 材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），薄膜製備技術（四級學科）
以上內容由全國科學技術名詞審定委員會審定公佈
陰極沉積定義
真空室中只有陰極和陽極，陰極上裝有被濺射材料，利用高電壓下兩極間氣體自持放電的濺射沉積技術。
陰極沉積出處
《材料科學技術名詞》。
- 參考資料
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- 1. 陰極沉積 ．術語在線[引用日期2022-11-27]
