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金屬有機源
鎖定
金屬有機源是2011年公佈的材料科學技術名詞。
- 中文名稱
- 金屬有機源
- 英文名稱
- metalorganic source
- 定 義
- 高純金屬有機化合物材料，是金屬有機化學氣相外延和沉積的原材料。要求具有合適的結構、合適的蒸氣壓、合適的分解温度和很高的純度。
- 應用學科
- 材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），薄膜製備技術（四級學科）
以上內容由全國科學技術名詞審定委員會審定公佈
金屬有機源定義
高純金屬有機化合物材料，是金屬有機化學氣相外延和沉積的原材料。要求具有合適的結構、合適的蒸氣壓、合適的分解温度和很高的純度。
金屬有機源出處
《材料科學技術名詞》。
- 參考資料
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- 1. 金屬有機源 ．術語在線[引用日期2022-11-27]
