遼寧省微納米技術及系統重點實驗室

遼寧省微納米技術及系統重點實驗室依託“機械製造及其自動化”國家重點學科和“機械電子工程”遼寧省重點學科，以微型機械、微電子、光電子、納米材料和微系統為研究重點，實現器件與系統的微型化和多功能化集成製造為目標，將實驗室建設成為面向遼寧省基礎工藝裝備製造及信息、生物醫學工程與化工產業，以微系統與微製造為特色的實驗室。實驗室有四個研究方向：生化微系統與精密儀器裝備、微執行器和傳感器、信息電子材料與器件以及納米材料與器件。

遼寧省微納米技術及系統重點實驗室現有教職工33人，教授15人，副教授/副研究員8人，講師3人，實驗技術人員7人。其中，中科院院士1人，國家傑出青年科學基金獲得者2名，高校青年教師獎獲得者1人，教育部跨（新）世紀優秀人才支持計劃獲得者3人，遼寧省高等學校優秀人才支持計劃獲得者1人、遼寧省新世紀百千萬人才工程獲得者6人，遼寧省高等學校優秀青年骨幹教師1人。

遼寧省微納米技術及系統重點實驗室具備950平方米的超淨實驗室（潔淨度最高100級），有整套硅加工、LIGA加工和測試設備，多種精密機械特種加工設備及光學、機械測試儀器，主要設備有：

一、測試設備

半導體參數測試儀，表面輪廓儀（膜厚、應力、粗糙度等），掃描探針顯微鏡（AFM+STM），掃描電鏡，Olympus倒置顯微鏡，顯微立體拍照及測量系統，激光誘導熒光檢測系統，Mahr電感測微儀，微力測試系統。

二、微加工工藝設備

氧化擴散爐，勻膠台，熱板，曝光機，濕法腐蝕台，磁控射頻濺射台，ICP，PECVD，MBE，MOCVD，真空蒸發台，精密電鑄機，等離子去膠機，靜電鍵合機，引線鍵合機，塑料微流控芯片自動成形與對準裝配系統（熱壓機、鍵合機），半導體真空預處理器，快速硅片模具合金爐，晶體管自動控温管式爐，馬弗爐，鼓風乾燥箱，激光切割機，劃片機，超聲打孔機，去離子水系統，濕法工作台，石英管清洗機，超聲清洗器。

三、精密齒輪加工及測量設備

齒輪磨牀，超精密齒輪齒距誤差測量儀，齒輪徑向跳動檢查儀，Mahr齒輪測量中心，雙盤式漸開線檢測儀，漸開線凸輪檢測與加工裝置。

遼寧省微納米技術及系統重點實驗室獲得中國機械工業科學技術二等獎2項，獲得中國航空工業集團公司航空科學技術獎勵二等獎1項。作為負責單位，承擔國家支撐計劃課題1項；國家973課題2項；國家863重大項目課題1項；國家自然科學基金重點項目1項；國家自然科學基金面上項目11項、青年基金9項。作為參加單位，承擔國家支撐計劃課題1項；國家973課題4項；國家自然科學基金重點項目2項；國家科技重大專項2項；軍工項目4項。

遼寧省微納米技術及系統重點實驗室目前在站博士後3人，在讀博士、碩士研究生200餘人，已經出站博士後3人，畢業博士、碩士研究生400餘人。其中全國百優博士論文提名獎1人，遼寧省優秀博士論文1人、“上銀優秀機械博士論文獎”金獎1人、碩士論文2人。

遼寧省微納米技術及系統重點實驗室積極開展對外交流，加強與企業的產學研合作，目前已與國外、國內(包括台灣和香港)17個研究機構和企業建立了合作關係，舉辦多次國內、國際學術會議。對外交流與合作單位主要有：美國明尼蘇達大學MEMS研究所、英國克蘭菲爾德大學微系統與納米技術中心、台灣成功大學機械工程系、香港科技大學微系統研究所和電子系、清華大學摩擦學國家重點實驗室、中南大學高性能複雜製造國家重點實驗室、浙江大學微分析系統研究所、中科院上海微系統與信息技術研究所、中航工業西安飛行自動控制研究所、生物芯片北京國家工程中心（北京博奧生物有限責任公司）等。 ^[1]