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軟X射線譜學顯微線站

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軟X射線譜學顯微線站是一種用於物理學、化學、材料科學、能源科學技術領域的分析儀器,於2010年1月10日啓用。
中文名
軟X射線譜學顯微線站
產    地
中國
學科領域
物理學、化學、材料科學、能源科學技術
啓用日期
2010年1月10日
所屬類別
分析儀器 > X射線儀器

軟X射線譜學顯微線站技術指標

光源類型 波盪器 能量範圍 85 150eV 樣品處光通量 1x014phs/s/cm2@300mA@92eV 掩膜處光斑尺寸 3×3mm2 (H × V) 干涉條紋週期 100nm 單次曝光尺寸 0.4x0.4mm2。 [1] 

軟X射線譜學顯微線站主要功能

雙光柵干涉 多光柵干涉。 [1] 
參考資料