超聲顯微鏡

入射到物體上的機械波要發生反射、折射、衍射和吸收等現象，經歷這些現象因與物體發生相互作用而含有物體的信息，利用某些物理效應把含有新信息的顯示出來就實現了成像。至於顯微分辨本領則與波長相當。現就透射式SAM進一步説明。電信號激發壓電換能器，經透鏡穿過放在平面上的被測樣品，載物片是幾微米厚的聚酯樹脂薄膜，耦合媒質是水，當到達對面的透鏡，含有樣品信息的經壓電換能器接收又變成電信號，經接收電路送到示波器，機械掃描裝置使載物台作二維掃描運動，使得樣品上作逐點逐行地照射，當機掃與示波管的電子束運動同步，屏幕上出現一幅對應於物體的被照射部位，這幅是由許多像元組成。由於掃描的限制，需幾秒才能完成。

用途大約可分為三個方面。①在生物學和醫學上，可以進行活體觀察；②在微電子學上，利用反射式，可對大規模集成電路不同層次（包括層間細節）進行非破壞性觀察；③在材料科學上，樣品表面不必拋光腐蝕，能顯示出明顯的晶粒間界、合金內不同組分的區域。

經過幾十年的演變和發展，分辨本領較低但能實時顯示。SAM型正在向縱深發展。在提高分辨率方面,最近美國斯坦福大學將放在0.2K液氦環境下工作，獲得了50nm(500┱)的分辨率，英國C.R.佩茨採用高壓氣體作耦合媒質，在壓力為30atm的氦氣中,就獲得7μm的分辨率，一方面用傳遞函數進行透鏡理論分析，另一方面，日本的中缽憲賢發展了無透鏡技術，直接採用微型球面換能器。在應用方面，在計量方面得到新應用，如測量極薄層狀結構的層厚，對雞胚胎纖維細胞的觀察，有助於細胞生理學的研究。