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超純水
鎖定
超純水(Ultrapure water)又稱UP水,是指
電阻率達到18 MΩ*cm(25℃)的水。這種水中除了水分子外,幾乎沒有什麼雜質,更沒有
細菌、病毒、含氯
二噁英等有機物,當然也沒有人體所需的礦物質
微量元素,也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。可以用於超純材料(
半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用
蒸餾、
去離子化、
反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術的製備過程
[1]
。
- 中文名
-
超純水
- 外文名
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Ultrapure water
- 別 名
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UP水
- 定 義
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電阻率達到18MΩ*cm(25℃)的水
- 特 點
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水中幾乎沒有雜質
- 應 用
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器皿清洗、光刻掩模版製備等
超純水簡介
超純水是為了研製超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水,其電阻率大於18 MΩ*cm,或接近18.3 MΩ*cm極限值(25℃)。簡單得説就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水
[2]
。這樣的水是一般工藝很難達到的程度,理論上可以採用二級反滲透再經過串聯的混合型交換樹脂柱對二次反滲水進行處理,但是交換樹脂的再生不便,質量難以保證。
超純水製備
在
原子光譜、
高效液相色譜、超純物質分析、痕量物質等的某些實驗中,需要用超純水,超純水的製備如下
[3]
:
(1)加入少量
高錳酸鉀的水源,用玻璃蒸餾裝置進行二次蒸餾,再以全石英蒸餾器進行蒸餾,收集於石英容器中,可得超純水。
(2)使用強酸型
陽離子和強鹼型
陰離子交換樹脂柱的
混合牀或串聯柱。可充分除去水中的陽、陰離子,其電阻率達10 Q·cm的水,俗稱去離子水,再用全石英蒸餾器進行蒸餾,收集可得超純水。
超純水應用
(3)
單晶硅、
半導體晶片切割製造、半導體芯片、
半導體封裝 、引線櫃架、集成電路、液晶顯示器、
導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔淨產品及各種元器件等生產工藝。
(4)高壓變電器的清洗等
- 參考資料
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1.
賀立源,陳傳友.土壤肥料化驗室基礎知識:中國農業出版社,2009
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2.
陳海燕.生活的解碼:中國鐵道出版社,2013
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3.
夏玉宇.化學實驗室手冊(第3版):化學工業出版社,2015
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4.
程燕,李林靜,王喆.生命科學實驗儀器設備與使用:科學技術文獻出版社,2014